工業(yè)制氧方面，對于中小規(guī)模的制氧需求，也有使用變壓吸附制氧的，包括PSA制氧及VPSA制氧工藝，工作原則是利用高效的氮氧分離吸附劑吸附氮氣，吸附一定時間進行解吸再生，周期性操作，兩塔或者更多吸附塔并聯(lián)，達(dá)到連續(xù)產(chǎn)氧的目的。

　　

　　工業(yè)制氧機分離空氣主要由兩個填滿分子篩的吸附塔組成，在常溫條件下，將壓縮空氣經(jīng)過過濾，除水干燥等凈化處理后進入吸附塔，在吸附塔中空氣中的氮氣等被分子篩所吸附，而使氧氣在氣相中得到富集，從出口流出貯存在氧氣緩沖罐中，而在另一塔已完成吸附的分子篩被迅速降壓，解析出已吸附的成分，兩塔交替循環(huán)，即可得到純度為≥90%的廉價的氧氣。整個系統(tǒng)的閥門自動切換均由一臺電腦自動控制。

　　

　　工業(yè)制氧機系統(tǒng)流程：

　　

　　1、壓縮空氣凈化組件

　　

　　空氣壓縮機提供的壓縮空氣首先通入壓縮空氣凈化組件中，壓縮空氣先由管道過濾器除去大部分的油、水、塵，再經(jīng)冷凍干燥機進一步除水、精過濾器除油、除塵，并由在緊隨其后的超精過濾器進行深度凈化。

　　

　　2、空氣儲罐

　　

　　空氣儲罐的作用是：降低氣流脈動，起緩沖作用；從而減小系統(tǒng)壓力波動，使壓縮空氣平穩(wěn)地通過壓縮空氣凈化組件，以便充分除去油水雜質(zhì)，減輕后續(xù)PSA氧氮分離裝置的負(fù)荷。同時，在吸附塔進行工作切換時，它也為PSA氧氮分離裝置提供短時間內(nèi)迅速升壓所需的大量壓縮空氣，使吸附塔內(nèi)壓力很快上升到工作壓力，保證了設(shè)備可靠穩(wěn)定的運行。

　　

　　3、氧氮分離裝置

　　

　　裝有專用分子篩的吸附塔共有A、B兩只。當(dāng)潔凈的壓縮空氣進入A塔入口端經(jīng)分子篩向出口端流動時，N2被其吸附，產(chǎn)品氧氣由吸附塔出口端流出。經(jīng)一段時間后，A塔內(nèi)的分子篩吸附飽和。這時，A塔自動停止吸附，壓縮空氣流入B塔進行吸氮產(chǎn)氧，對并A塔分子篩進行再生。分子篩的再生是通過將吸附塔迅速下降至常壓脫除已吸附的氮來實現(xiàn)的。兩塔交替進行吸附和再生，完成氧氮分離，連續(xù)輸出氧氣。上述過程均由可編程序控制器（PLC）來控制。當(dāng)出氣端氧氣純度大小設(shè)定值時，PLC程序作用，自動放空閥門打開，將不合格氧氣自動放空，確保不合格氧氣不流向用氣點。氣體放空時利用消音器消聲使噪聲小于75dBA。

　　

　　4、氧氣緩沖罐

　　

　　氧氣緩沖罐用于均衡從氮氧分離系統(tǒng)分離出來的氧氣的壓力和純度，保證連續(xù)供給氧氣穩(wěn)定。同時，在吸附塔進行工作切換后，它將本身的部分氣體回充吸附塔，一方面幫助吸附塔升壓，另外也起到保護床層的作用，在設(shè)備工作過程中起到極重要的工藝輔助作用。